В современных микроконтроллерах память ПЗУ является «flash» памятью, которая позволяет производить перезапись ее содержимого с помощью внутрисхемного программирования при малых уровнях напряжения информационных сигналов.
ОЗУ современных микроконтроллеров выполняются на статических и динамических элементах. Статические ОЗУ реализуются на биполярных схемах, образующих триггера. В ячейках динамических ОЗУ информация запоминается на конденсаторе ячейки. Т.к. разряд конденсатора происходит в течение нескольких миллисекунд, то постоянно необходимо осуществлять перезапись в ячейки или регенерировать ее содержимое. Поэтому динамические ОЗУ снабжаются специальными схемами регенерации. Динамические ОЗУ имеют большую степень интеграции, чем статические.